7nm 高端 DUV 光刻機(jī)仍可出口！ASML：年底前全力向中國客戶交付訂單

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快科技 9 月 1 日消息，ASML 方面已經(jīng)表示，將在年底前向中國客戶交付部分先進(jìn)芯片制造裝備。

據(jù)美國媒體報(bào)道稱，ASML 已經(jīng)獲得荷蘭官方的允許，在今年年底前向中國客戶出口其部分先進(jìn)工具。

按照 ASML 的說法，在 2023 年的剩余時(shí)間里，ASML 將能繼續(xù)出貨其 NXT:2000i 和更先進(jìn)的 DUV 型號的產(chǎn)品，這些產(chǎn)品從 9 月 1 日起就受到限制。

至于 2024 年是不是可以繼續(xù)，ASML 則表示暫時(shí)不能確定。

據(jù) ASML 官網(wǎng)提供的信息，該公司目前在售的主流浸沒式 DUV 光刻機(jī)產(chǎn)品共有三款，分別是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML 官網(wǎng)上關(guān)于這一臺 TWINSCAN NXT:1980Di 的介紹，其中在分辨率方面，寫到是大于等于 38nm（可以支持到 7nm 左右），而這是指一次曝光的分辨率，事實(shí)上光刻機(jī)是可以進(jìn)行多次曝光的。