上海微反光碗唯一供應商，百合光學發力納米級光刻機光源突破 | 傳感半導體·助力新河南

【大河財立方 見習記者 關帥康】歷經兩代人、31年接力，成立于1992年的百合光學經歷了從中日合資到民企、從鍍膜到光學元器件再到光源模組的成長歷程。

自2016年進軍光源模組研發后，短短幾年便成為中芯國際、上海微電子、大族激光等知名企業供應商。同時，近期將獲得某知名通信公司投資。

7月5日，大河財立方記者走進百合光學，探尋這家河南唯一一家光刻光源企業快速成長背后的故事。

(資料圖片)

推動新鄉光電產業“破土”

英國南威爾士大學光電工程博士畢業的張博，是帶領百合光學進行高層次“光”突破的關鍵旗手。

2016年，張博回到新鄉，在其父親創立的百合光電體系內設立百合光學研究院，將百合光電主營光學元器件業務延伸至更高層次的光源模組，百合光學的光得以照進光刻機等高端應用領域。

百合光學的光學元器件業務是公司傳統核心業務，主要為玻璃深加工，其是國內少數擁有全加工產業鏈的公司之一。將一塊塊玻璃進行打磨、拋光、鍍膜、檢測等一系列加工，使之達到不同領域對鏡片折射率、色散、透射比、光吸收等要求。

百合光學生產出一塊塊工藝先進的棱鏡、透鏡、分光鏡、濾光片等，廣泛應用于紫外光刻機、光學儀器、光學通信、醫療設備等多種高精領域，目前公司鏡片生產技術已達到納米級光刻機使用要求。

2016年設立的光源模組業務專注于光刻光源領域，研發的LED光刻光源技術國際領先，主要刻蝕PCB電路板等，并以開發出成熟的亞微米級光刻機光刻光源為目標，探尋高層次光源發展。

百合光學作為河南唯一一家光刻光源企業，是本土光電產業發展之源。新鄉市把光電產業立為該市主導產業，并把發展的種子埋在了新卓路9號新東光電信息產業園。

經過數年培育，產業園圍繞百合光學聚集多家光電上下游企業入駐，新鄉光電產業鏈逐漸成形，正迎來“萌芽破土”。

LED平行光源媲美國外進口產品

納米級光刻機一直是國內高端科技領域重點突破方向。

百合光學自2016年成立研究院起，就把光刻機重要部件光刻光源作為研發目標。應用精度從微米級光刻機到半導體光刻機，百合光學技術越來越成熟，在高端科技研發的路上越走越深。

“在LED平行光源領域，我們達到國內領先水平。”百合光學副總經理孫昊向大河財立方記者介紹道。

2020年，百合光學獨創了UV-LED光刻光源技術，對微米級光刻機汞燈光源技術實現革新，將能耗降低90%，使用壽命從800小時提升至2萬小時，大幅降低國產微米級光刻機設備價格，填補了國內空白。大族激光、蘇州源卓等公司光刻機產品都采用了百合光學的UV-LED光刻光源技術。

在專業技術要求更高的納米級光刻機領域，百合光學已向中芯國際供應20多種光學元器件，其中10余種已通過中芯國際驗證，成為中芯國際光學元器件戰略供應商。

上海微電子是國內光刻機研發的希望，其光刻機反光碗由百合光學獨家供應。“在國內，反光碗能達到上海微電子要求的只有百合光學一家，我們是唯一供應商。”孫昊稱。

據了解，百合光學生產的反光碗具有光強好，精度高，光譜達標，均勻性達標等技術優勢，光學性能媲美國外進口產品。

知名通信公司洽談投資，籌備科創板上市

高端科技領域研發投入大、見效慢、風險高，百合光學自成立光學研究院后，一直將光學元器件業務利潤補貼光源模組領域研發投入。

對于研發型企業來說，大額研發投資下，如何保證業績和生存對企業經營能力是重要考驗。

百合光學以研發與經營齊頭并進為發展戰略，重視研發的同時，目前賴以生存的光學元器件業務也要打開多領域市場。

孫昊稱：“未來公司大力發展光伏光刻，光伏電池板中將使用銅代替銀漿材質增加儲存電量，必須使用光刻機刻線，預計明后兩年將會快速起量。車輛抬顯也是公司重點業務，目前產品已供應比亞迪護衛艦系列和理想全系車型，成為比亞迪定點生產單位，另有20家多車企合作導入。”

這些領域的發力，對百合光學業績有重要貢獻，研發投入資金也會更加充裕。

據了解，百合光學高薪聘請行業專家，并組建了數十人的研發團隊，持續加大納米級光刻機光刻光源技術攻關。目前重點研發高難度的無掩膜板DI光刻光源技術，利用芯片直接成像、電腦快速刻畫，具有照射強、效能高、效率快的特點。

對于研發型企業來說，融資是頭等問題，百合光學重視研發的態度和優異成績讓其成為“香餑餑”。

“已有20多家基金表示過投資意向，另外，某知名通信公司近期在落地投資計劃，我們也在積極籌備公司科創板上市工作”孫昊介紹道。

責編:劉安琪 | 審校:李金雨 | 審核:李震 | 監制:萬軍偉